在半导体晶圆的加工进程中,研磨步调是决定晶圆平整度、厚度精度的要津一步,奏凯影响后续切割、封装等工序的质料。DISCO DFG850 研磨机凭借其超卓的研磨性能,成为繁密量导体企业信托的 “精密磨工”,在进步产物性量和分娩效力方面推崇亮眼。
纳米级精度,打造无缺晶圆名义
关于半导体晶圆来说,研磨后的名义质料和厚度精度至关遑急。DISCO DFG850 研磨机在这方面展现出了惊东说念主的实力。它汲取高精度的金刚石砂轮迷惑无级变速主轴,大致达成从几百微米到 20μm 的精确减薄,厚度偏差严格停止在 ±1μm 以内,比头发丝的 1/50 还要缜密。这种超高的精度,确保了晶圆在后续的光刻、蚀刻等工艺中,能取得均匀的曝光和刻蚀后果,为芯片性能的踏实性打下坚实基础。
更值得一提的是,经过 DFG850 研磨后的晶圆名义光洁度极高,约略度 Ra 值低至 0.5nm,光秃秃得如同镜面一般。这不仅减少了后续工艺中因名义弱势导致的不良率,还能裁减镀膜、光刻胶涂布等步调的材料浮滥,迤逦为企业简约了分娩资本。
高效踏实,适配量产需求
在大范畴分娩中,效力和踏实性是企业追求的中枢见解,DISCO DFG850 研磨机在这两点上相同推崇出色。它大致松驰应付 12 英寸晶圆的研磨使命,每小时可治理 60 片,大幅进步了单元时候的产出。况兼,修复复古 Si、SiC、GaN 等多种材料的研磨,无需频频更换修复或进行复杂的参数补救,就能甘心不同类型晶圆的加工需求,极地面提高了分娩线的活泼性。
其搭载的 “智能压力停止” 技能更是一大亮点。在研磨过程中,修复大致左证晶圆的不同区域自动调度压力,罕见是在遭逢晶圆边际时,会玄机地补救力度,有用幸免了崩边气候的发生。某半导体企业引入该修复后,晶圆研磨的良率从原本的 92% 一跃进步至 99% 以上,返工率大幅裁减,分娩节律愈加踏实。
细节运筹帷幄打算,彰显东说念主性化与可靠性
DISCO DFG850 研磨机在细节运筹帷幄打算上充分筹商了本色分娩需求,彰显了东说念主性化和可靠性。机身自带的碎片回收系统,大致实时将研磨产生的粉尘和碎片收罗起来,不仅保执了使命环境的整洁,还幸免了碎片对晶圆名义变成二次稠浊,进一步保证了研磨质料。
操作方面也尽头纯粹,触控屏界面直不雅易懂,新职工经过纯粹培训就能快速上手,裁减了企业的培训资本。同期,修复的崇尚周期较长,减少了因珍视崇尚而停机的时候,让分娩线大致执续高效开动。
在半导体产业握住向高精度、高集成度发展的今天,DISCO DFG850 研磨机凭借其纳米级的研磨精度、高效踏实的分娩才调以及贴心的细节运筹帷幄打算,成为半导体加工步调中不行或缺的遑急修复。它不仅为企业进步了产物性量和分娩效力开yun体育网,更助力通盘这个词半导体行业向更高水平迈进。
热点资讯